應用范圍：VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了先進的設計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。該設備可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段。每段運行參數(shù)可獨立設置，可使設備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。設備腔體采用聚丙烯材質，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及電機轉子軸中心的氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉主軸采用高速直流無刷電機，噪音低、振動小、運行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應性強、維修與保養(yǎng)簡單，電機啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

產品型號：VTC-100PAX

設備尺寸：L270*W430*H400mm

重量：12kg

上架時間：2024-07-17

版本號：V1.0