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PCE-80 8.5英寸等離子清洗機

應用范圍：PCE-80是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

產(chǎn)品型號：PCE-80

上架時間：2019-09-03

安裝尺寸：620 L ×600 W ×600 H, mm

A^-A⁺

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PCE-80是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

性能指標和基本配置
主要特點	● 最大射頻功率: 100 W ● 真空泵功率: < 500W ● 總功率: < 600W ● 電源：AC 220V , 50Hz
射頻電源	● 射頻功率可在 0 - 100W之間調節(jié) ● 頻率: 13.56 MH ● 可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源，來進行等離子刻蝕或等離子灰化等實驗
等離子腔體	● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 ● 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封 ● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口 ● 此設備完全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏
控制面板	● 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等. ● 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計，可精確地控制進氣流量
真空泵（選配）	● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ● 極限真空度為50mTorr（參考值，具體請點擊） ● 真空泵模塊
通入氣體	● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質所定） ● 不能使用易燃氣體及腐蝕性氣體。
可選	● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 ● 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng) ● 圖片（空氣系統(tǒng)模塊）
外形尺寸	620 L ×600 W ×600 H, mm
相關應用	● 請自行根據(jù)您的應用測試最佳的等離子功率 ● 對于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間 ● 對于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間 ● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源
質量認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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