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廣東省工程技術(shù)研究中心
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GSL-1100X-RTP50 1100℃快速熱處理爐

應用范圍:GSL-1100X-RTP50是一款CE認證的快速加熱冷卻爐,配置50mm OD×44mm ID×304.8mm L的高純石英管(單端封口),最高工作溫度可達1100℃,一滑軌安裝在右側(cè)法蘭處用于爐管的手動移動,從而實現(xiàn)快速的加熱冷卻。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后將爐管插入到加熱區(qū)內(nèi);為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后從加熱爐中移出爐管在空氣中進行強冷。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

產(chǎn)品型號 :GSL-1100X-RTP50

上架時間 :2019-07-17

安裝尺寸:400mm L×305mm W×530mm H

重量:約45Kg

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       GSL-1100X-RTP50是一款CE認證的快速加熱冷卻爐,配置50mm OD×44mm ID×304.8mm L的高純石英管(單端封口),最高工作溫度可達1100℃,一滑軌安裝在右側(cè)法蘭處用于爐管的手動移動,從而實現(xiàn)快速的加熱冷卻。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后將爐管插入到加熱區(qū)內(nèi);為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后從加熱爐中移出爐管在空氣中進行強冷。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

 性能指標和基本配置
結(jié)構(gòu)&特點

● 配置單端封口石英管,一滑軌安裝在右側(cè)法蘭處用于爐管的手動移動
● 管子一端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。
● 法蘭處可插入一根直徑1/4”熱偶用來監(jiān)測管內(nèi)實際溫度

工作電源

● 電壓:AC208-240V,50/60Hz
● 功率:2.5KW

最高工作溫度

1100℃

溫度精度

±1℃

加熱區(qū)長度

152mm

恒溫區(qū)

100mm(±1℃)

加熱元件

硅碳棒4根

熱電偶

2個S型熱電偶:1根用于測量和控制爐體溫度,1根用于監(jiān)測爐管內(nèi)樣品的實時溫度
1 1

溫度控制

● 兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制
● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序
● 設置有超溫和斷偶保護
● 控溫精度為±1℃
● 設備面板上帶有RS485通訊接口
● 可選購PC控制模塊,可采用電腦來設置和顯示溫度曲線

加熱和冷卻速率

加熱速率:                                     冷卻速率:
30°C/sec (RT - 500°C);               16°C/sec (1100°C - 800°C);
12°C/sec (500°C - 800°C);          9°C/sec (800°C - 600°C);
5°C/sec (800°C - 900°C);            5°C/sec (600°C - 500°C);
3.6°C/sec (900°C - 1000°C);       3.6°C/sec (500°C - 400°C);
1°C/sec (1000°C - 1100°C);        2.5°C/sec (400°C - 300°C);

爐管尺寸

● 單端封口高純石英管
    尺寸:50mm OD×44mm ID×304.8mm L
    最高工作溫度:1100℃(常壓下)
1
● 可選:CF高真空法蘭
   最高溫度:1000℃,10-6Torr
  1000℃(真空下)
1

滑軌

● 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌
● 滑動長度:350mm

密封法蘭

● 管子一端安裝真空法蘭,標配一機械壓力表
● 法蘭處可插入一根直徑1/4”熱偶用來監(jiān)測管內(nèi)實際溫度

真空度

● 取決于所選真空泵(真空泵不在標配中)
● 10-5Torr(采用分子泵)
● 10-2Torr(采用機械泵)
1

產(chǎn)品尺寸

400mm L×305mm W×530mm H

產(chǎn)品重量

~45kg

應用注意事項

可利用此設備DIY構(gòu)建快速熱蒸發(fā)以及物理化學氣相沉積工藝,如下圖:
1

使用注意事項 ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度<1100℃
● 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
質(zhì)量認證

CE認證

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務承諾書。
暫無內(nèi)容
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