應用范圍:GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
產品型號 :GSL-2Z-LCD-S
上架時間 :2019-07-09
安裝尺寸:360 mm L x 300 D mm x 190 H mm
重量:8.4kg
GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
性能指標和基本配置 | |
---|---|
基本參數(shù) |
● 工作溫度:5~45oC ● 最大壓力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: ● 一路:1-99 SCCM ● 二路:1-199 SCCM (其他流量范圍可定制) ● 注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用 |
輸入電源 |
AC 220V,50/60Hz |
功率 |
100W |
PLC觸摸屏 | |
混氣罐 |
內置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣 |
機械壓力表 |
● 有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接 |
針閥 |
316 不銹鋼 |
通氣管道 |
● 內部連接管道為1/4”不銹鋼管 |
混氣罐 |
內置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣 |
機械壓力表 |
● 有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接 |
針閥 |
316 不銹鋼 |
通氣管道 |
● 內部連接管道為1/4”不銹鋼管 |
外形尺寸 | |
產品重量 |
8.4kg |
相關產品 | |
質量認證 |
CE認證 |
保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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