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微型PECVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：這款小型PECVD，其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對(duì)樣品進(jìn)行加熱，此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機(jī)械泵。整套儀器都按放在一個(gè)移動(dòng)架上，以便于實(shí)驗(yàn)操作。等離子腔體內(nèi)部的最高溫度可以達(dá)到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價(jià)的PECVD系統(tǒng)對(duì)于薄膜生長(zhǎng)和納米線的制作是一款很好的選擇。

上架時(shí)間：2019-07-05

安裝尺寸：等離子源： 8.5" H x 10" W x 8" D

溫控盒： 4"H x 10"W x 8"D

移動(dòng)架：600 x 600 x 600mm

重量：70 lb (包含真空泵)

A^-A⁺

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這款小型PECVD，其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對(duì)樣品進(jìn)行加熱，此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機(jī)械泵。整套儀器都按放在一個(gè)移動(dòng)架上，以便于實(shí)驗(yàn)操作。等離子腔體內(nèi)部的最高溫度可以達(dá)到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價(jià)的PECVD系統(tǒng)對(duì)于薄膜生長(zhǎng)和納米線的制作是一款很好的選擇。

性能指標(biāo)和基本配置
等離子源	● 等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W ● 輸出頻率： 13.56 MHz ● 三檔射頻功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可調(diào)節(jié)） ● 腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L ● 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr（用機(jī)械泵）
滑動(dòng)法蘭	● 有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上，以便于樣品的放入和取出。 ● 樣品可以放入加熱線圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
加熱圈和溫控系統(tǒng)	● 加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達(dá)到的溫度為400℃ ● 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以減小熱量損失 ● 溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為： +/-1oC，輸入電源： AC 220V
兩通道混氣系統(tǒng)	● 混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì)，其量程為10-100SCCM ● 三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MPa, ● 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥 ● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管 ● 混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). ● 凈重: 14 lbs.
真空和氣體接口	標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有： ● 一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥） ● 一根KF25的波紋管（長(zhǎng)度為1m)和三KF25卡箍 ● 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì) ● 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air ，以及各種混合性氣體。 ● 可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量，確保等離子體達(dá)到樣品處（注意：不可通入易燃易爆性氣體）
真空泵	● 儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵，其抽氣速率為120L/min。 ● 進(jìn)氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
移動(dòng)架	設(shè)備中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移動(dòng)架，整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
儀器尺寸	● 等離子源： 8.5" H x 10" W x 8" D ● 溫控盒： 4"H x 10"W x 8"D ● 移動(dòng)架：600 x 600 x 600mm
重量	70 lb (包含真空泵)
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certified
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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