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廣東省工程技術研究中心
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  實驗設備

OTF-1200X-S50-2F 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)

應用范圍：OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機械泵相連接（抽速為226L/m）。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。 

產品型號 ：OTF-1200X-S50-2F 

上架時間 ：2019-06-28 

安裝尺寸：爐體:340 x 300 x 400mm 

                 真空泵:440 x 160 x 300mm 

                 混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm 

重量 ：100 lbs

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       OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機械泵相連接（抽速為226L/m）。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 采用雙層殼體
● 爐膛采用多晶氧化鋁纖維，最大程度減小能量損失
● 內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

1.75KW

電壓

AC -220V

溫度

● 最高工作溫度：1200℃（< 1hr）
● 連續(xù)工作溫度1100 ℃
● 升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度: 8" (200mm)

溫控系統(tǒng)

● PID30段程序化控溫
● 控溫精度: +/- 1℃

加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其最大程度延長使用壽命）
兩路混氣系統(tǒng)

● 兩個浮子流量計量程為16 —100mL/min
● -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
● 三個機械壓力表：-0.1-0.15 MP
● 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥
● 后端裝有φ6.35卡套接頭，無需通電
● 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
● 凈重: 14 lbs
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真空法蘭和配件

結構
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標準真空配件:
● 一個防腐型真空計
● 一個φ6.35的卡套接頭
● 兩個KF25轉接頭
● 一個600mm的不銹鋼波紋管

防腐型真空計

本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）
1

真空泵

我公司有多種真空泵可選，請點擊圖片，或是致電我公司銷售
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產品凈重

100 lbs

運輸重量

200 lbs

外形尺寸

● 爐體:340 x 300 x 400mm
● 真空泵:440 x 160 x 300mm
● 混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm.

開門斷電

為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計
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應用注意事項 ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，● 以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）


質量認證

所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/CE認證
若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
1

保修期 一年保修，終身技術支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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